蚌埠茶叶厂FFU系统电路的设计方式

　　蚌埠洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。FFU集成电路设计优点：洁净室面积可扩大、洁净等级高、温湿度控制精度高等，多数洁净室要求环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等。

　　蚌埠FFU集成电路系统刚好可以**大化满足这些要求。洁净室按照回风特点分为三个系统

　　1.FFU循环系统

　　2.循环空调机配合高效送风口系统

　　3.循环风机配合湿式密封系统和。

　　蚌埠FFU集成电路系统的三种类型

　　1.适合半导体制造业的FFU循环系统FFU循环系统①不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求。

　　2.适合小规模洁净室的FFU循环系统在小规模低等级要求的洁净室设计中被广应用，对于大面积高等级的洁净室则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

　　3.全能型FFU循环系统这种形式的设计可以满足集成电路制造洁净室大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

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